臭氧發生器廠家產生臭氧的方法有很多種，比如：紫外線照射法，電解法，放射化學法和介質阻擋放電法等；紫外線照射法利用紫外線照射干燥的氧氣，使得一部分氧分子被激活離解成氧原子，進而形成臭氧；在紫外線照射氧氣的過程中，既有使氧變成臭氧的光波；也有使臭氧分解的光波，所以臭氧的產量將取決于產生臭氧的波長和分解臭氧波長的比值，紫外照射法產生臭氧的缺點是能耗高，臭氧濃度低；所以紫外線照射法用于大量生產臭氧是不能實現的，臭氧發生器廠家也不使用這種方法產出臭氧。
還有很多方法可以嘗試，比如電解法，電解法利用直流電源電解含氧電解質產生臭氧，八十年代以前，電解液多為水內填加酸，鹽類電解質，電解面積比較小，臭氧產量低。近年來電解機理及過程方面的大量研究，電解法制臭氧技術有了很大的進步,但單位產量不高，成本較高等因素還是限制著電解法臭氧發生器的批量生產。
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