臭氧(O3)水處理工藝類型很多，主要有以下幾種類型：①臭氧(O3)+生物活性炭法（O-B工藝），②臭氧(O3)+混凝法，③臭氧(O3)+活性炭吸附法，④臭氧(O3)+活性污泥法，⑤臭氧(O3)+膜處理法，⑥臭氧(O3)+超聲波法。
臭氧(O3)+生物活性炭法主要過程是：先往水中投加臭氧，其強氧化性使復雜有機物分子斷鏈成小分子，從而易于生物降解，同時提高了水中溶解氧濃度。然后再進入生物活性炭裝置，易降解有機物被活性炭富集，經
好氧微生物氧化分解為CO2和H2O等。該工藝的特點是臭氧預處理提高了廢水的可生化性，有機物的富集和富氧提高了生化反應速度;活性炭上的有機物生物降解又可恢復活性炭吸附性能。
臭氧(O3)+混凝法基于臭氧(O3)對親水性物質強烈的破壞力，當親水性物質轉變成疏水性時，混凝沉淀效果將大大改善。
臭氧(O3)+活性炭吸附法是指：由于活性炭微孔孔隙小，限制了對大分子物質的吸附，臭氧(O3)可破壞物質分子結構，形成小分子，增大活性炭吸附容量。
臭氧(O3)+活性污泥法的作用如同生物活性炭法，目的在于提高廢水的可生化性。
臭氧(O3)+膜處理法，臭氧(O3)常用在超濾(UF)的后處理上。
臭氧(O3)+超聲波處理法，超聲功率的增大可增加反應速度，臭氧(O3)通入量增大可加深生物反應程度，提高復雜有機物去除率。
臭氧單元處理主要是催化氧化法，如堿催化氧化、光催化氧化和多相催化氧化等，具體處理方法有：①臭氧(O3)/H2O2，②臭氧(O3)/UV(紫外光)，③臭氧(O3)/固體催化劑(金屬及其氧化物，活性炭等)。從反應機理看
：①屬于堿催化臭氧化，②屬于光催化臭氧化，③屬于多相催化臭氧化。
堿催化臭氧化反應的途徑是：通過OH-催化，生成-OH自由基，再氧化分解有機物，-OH基產生過程如下：
O3+OH→O2+HO2，O3+O2→O3+O2，O3+H+→HO3→OH+O2
光催化氧化是以紫外線為能源，以臭氧為氧化劑，利用臭氧在紫外線照射下生成的活潑次生氧化劑來氧化有機物，Gary，-Peyton等認為臭氧光解先產生H2O2，H2O2在紫外光的照射下又產生-OH基，進入OH自由基循環
：O2-+O3→O3+O2，O3+H+→HO3→OH+O2
利用光催化臭氧化法處理難降解有機物廢水時，部分難降解有機物在紫外光照射下，提高了能級，處于激發狀態，與OH基發生羥基化反應，生成易于生物降解的新物質。
多相催化臭氧化是近幾年發展起來的新技術，其金屬催化的目的是促進臭氧(O3)的分解，以產生活潑的-OH自由基強化其氧化作用，常用的催化劑有CuO、Fe2O3、NiO、TiO2、Mn等。
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